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真空洗涤干燥机利用液体在真空状态下的物理变化，改变烃洗涤剂和被洗涤物的某些特性，避免危害，更好地发挥烃洗涤剂的优势。
真空技术在清洗中的主要作用是：
1、排出洗涤剂中的空气，降低超声波的衰减。
为了提高清洗效果，清洗机普遍采用超声波技术，利用超声波振子每秒数万次的振动，发出人耳能听到的10万人以上的声压。 清洗时，超声波在液体中呈放射状，流过清洗液产生大量真空气泡。 这就是空化现象，该空化引起的液体流动和数万高压真空气泡瞬间爆炸时产生的能量不断冲击被子清洗物的表面，迅速剥离表面和间隙的污垢。
但在常压状态下，溶解在洗涤剂中的空气粒子接触超声波后会产生气泡，超声波的空化大幅衰减，清洗效果减弱。 真空状态下，洗涤剂中的气体会消失，避免超声波的衰减。 这个效果可以从铝箔实验中验证：在清洗槽中分别加入未真空脱气的烃洗涤剂和真空脱气的烃洗涤剂，用相同功率的超声波清洗铝箔1分钟后，未脱气的洗涤剂出现轻微的振动，铝箔几乎没有变化真空脱气的洗涤剂剧烈振动，铝箔上很快就形成了许多孔。
2、排除工件表面和空隙中的空气，提高清洗效果。
在以往的清洗中，清洗效果不理想，是因为盲孔、粗糙面、细小间隙的空气无法排出，影响洗涤剂的润湿，产生清洗盲孔。 应用真空技术，可以将零件的表面、间隙、盲孔内的空气全部排出，使清洗剂完全浸入工件的各个部位，从而在工件的各个部位获得最好的清洗效果。 对于结构复杂、盲孔较深的工件，也可以在2次以上的抽真空和排气过程中全部排出空气。 因此，在真空状态下，清洗效果高于常压。
3、沸点、命名烃清洗剂也可以进行气相清洗。
使用卤代烃清洗剂的超声波清洗机，利用卤代烃清洗剂沸点低的特点，在清洗的最后一步，加热清洗剂产生清洁的清洗剂蒸气，用溶液蒸气清洗工件，以免清洗溶液中溶解的油污残留在工件表面碳氢化合物清洗剂的沸点高于燃点，因此在常压状态下无法对工件进行蒸汽清洗。
真空洗涤干燥机利用液体在真空状态下沸点降低的原理，通过对密封的洗涤槽进行抽真空，使烃溶剂的沸点大幅降低，只需将烃洗涤剂加热到80左右，即可使其沸腾，实现蒸汽洗涤。
4、利用真空突沸效果，提高干燥速度。
由于烃洗涤剂的沸点都在140以上，因此在常温常压下完全挥发一般需要1个小时左右。 这样的干燥速度肯定不能满足工艺清洗的节拍要求。 加热干燥的方法容易产生火灾保险，这也是烃洗涤剂在我国没有广泛应用的主要原因之一。 真空清洗干燥机一般用一个槽进行蒸汽清洗和真空干燥，一边对动作进行蒸汽清洗一边使工件温度上升，然后使干燥槽迅速变为更高的真空状态，则工件表面的清洗液突然沸腾(真空突沸效果)，迅速挥发干净。 这样可以将工件的干燥时间控制在几分钟以内。
5、真空蒸馏，烃洗涤剂再生再利用。
蒸馏再生是利用洗涤剂和污垢的沸点差，将溶解有油污的洗涤剂加热到洗涤剂的不沸点以上，控制在油污的沸点以下，从而使洗涤剂气化，然后通过冷凝装置再冷凝成清洁的洗涤剂，沸点高的油污和机械杂质残留在蒸馏罐的底部。
由于卤代烃清洗剂沸点低、不易燃、蒸馏再生比较容易，所以很多卤代烃清洗剂都自带蒸馏再生装置。 另一方面，烃洗涤剂沸点高，因此闪点低，不能在常压下蒸馏再生。 真空洗涤干燥机的蒸馏再生装置在高真空下使烃洗涤剂的沸点降低到80，将清洗槽中溶解有油污的清洗液不断引入蒸馏装置，在真空中加热蒸发，冷凝后成为清洗溶剂，使清洗液始终保持清洁状态。 油污留在蒸馏装置的底部，定期排出。
6、隔绝氧气，燃烧碳氢化合物洗涤剂的条件。
大部分烃洗涤剂的闪点为50左右，在我国的《常用危险化学品的分类及标志》 (GB13690-92 )中是高闪点可燃性液体。 虽然燃点高，但在有高温或助燃物(纸或棉等)的情况下依然有燃烧的危险。 因此控制火灾保险成为其普及中必须解决的问题。 燃烧需要可燃物、温度、氧气三个必要条件，只要缺少一个就不会发生燃烧。 真空状态下氧含量极低，在洗涤、干燥、蒸馏再生过程中，即使烃洗涤剂的温度达到燃点以上，由于没有氧，也失去了燃烧所需的条件，烃洗涤剂不燃烧，可以安全使用。
碳氢化合物清洗机的分类：
清洗机按照设计可以分为标准机和非标准机。 根据清洗槽的数量，分为单槽机、双槽机、多槽机等。也可以根据自动化程度分为手动、半自动和全自动型。 烃清洗机的各部分功能包括清洗系统、蒸馏再生系统、控制系统、辅助系统等。
